微小氣體流量計(jì),MF4001氣體流量計
産品簡介：
FS4001系(xi)列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是(shì)廣州迪川儀器儀(yi)👨❤️👨表有📐限公司專門(mén)爲各類小流量氣(qi)體的測量👄和過程(cheng)控制而設計‼️的。這(zhe)一系列傳感器均(jun)采用本公司自主(zhǔ)研發的微機電系(xi)統（
MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制作，适用(yòng)于各類清潔氣體(ti)。*的封裝技術使之(zhī)可用于各類管徑(jing)，成本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力補(bu)償，可替代容積式(shi)或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
産品特點：
微小氣(qì)體流量計,MF4001氣體流(liú)量計
- 傳感器(qì)靈敏度高
,有(yǒu)極小的始動流量(liang)
- 傳感器芯片(pian)采用熱質量流量(liàng)計量
,無需溫(wen)度壓力補償
,
- 感(gan)器的高精度計量(liàng)
- 在單個芯片(pian)上實現了多傳感(gǎn)器集成
,使傳(chuán)感器的量程比大(da)大提高
- 傳感(gǎn)器的零點穩定度(du)高
- 全量程高(gao)穩定性
- 全量(liàng)程高精确度和優(yōu)良的重複性
- 低功耗
- 低壓(yā)損
-
主要參數(shù)：
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性能參數 |
FS4001 |
單位 |
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通 徑 |
1.0 |
mm |
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zui大流量(liang) |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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2132132132131231312100:1 |
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精 度 |
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重(zhòng)複性 |
0.25 |
%讀數 |
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零點輸出飄移(yi) |
±30 |
mV |
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輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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8~18Vdc,50mA |
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輸(shu)出方式 |
線性(xìng)， RS232/模拟電壓 0.5~4.5Vdc |
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zui大流量壓損 |
350 |
300 |
pa |
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zui大工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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工作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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機(jī)械接口 |
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校準方式 |
空(kong)氣（或其他氣體）， 20oC， 101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
