産品時(shi)間：2025-12-14
氣體檢(jiǎn)測/測漏流(liú)量計傳感(gan)器靈敏度(du)高,有極小(xiǎo)的始動流(liu)量
- 傳感器(qì)芯片采用(yòng)熱質量流(liú)量計量,無(wu)需溫度壓(ya)力補償,保(bao)🈲證了傳
- 感(gan)器的高精(jīng)度計量
- 在(zai)單個芯片(piàn)上實現了(le)多傳感器(qì)集成,使傳(chuán)感器的量(liàng)程🎯比大大(dà)提高
- 傳感(gan)器的零點(dian)穩定度高(gao) 全量程高(gao)穩定性
氣(qi)體檢測/測(cè)漏流量計(ji)
産品簡介(jiè)：
FS4001系列小流(liú)量氣體質(zhi)量流量傳(chuan)感器是專(zhuan)門爲各類(lei)💁小流量氣(qì)體的測量(liàng)和過程控(kong)制而設計(ji)的。這一系(xi)列傳感器(qi)均采用本(běn)公司自主(zhǔ)研發的微(wēi)機電系統(tong)（MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制(zhi)作，适用于(yu)各類清潔(jié)氣體。*的封(feng)裝技術使(shǐ)💯之可用于(yú)⭕各類管徑(jing)，成本低、易(yì)安裝、不需(xū)⛹🏻♀️要溫度壓(ya)力補償，可(ke)替代容積(jī)式或壓差(chà)式的傳統(tǒng)流量傳感(gǎn)器🙇♀️。
氣體檢(jiǎn)測/測漏流(liu)量計産品(pin)特點：
- 傳感(gan)器靈敏度(dù)高,有極小(xiǎo)的始動流(liu)量
- 傳感器(qì)芯片采用(yong)熱質量流(liú)量計量,無(wú)需溫度壓(ya)力補償,保(bao)♋證了傳
- 感(gan)器的高精(jīng)度計量
- 在(zài)單個芯片(piàn)上實現了(le)多傳感器(qì)集成,使傳(chuan)感器的量(liàng)🈲程比大大(dà)提高
- 傳感(gǎn)器的零點(diǎn)穩定度高(gao)
- 全量程高(gāo)穩定性
- 全(quan)量程高精(jīng)确度和優(yōu)良的重複(fu)性
- 低功耗(hao)
- 低壓損
- 響(xiǎng)應時間快(kuài)
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性能參數(shu) |
FS4001 |
單位 |
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通 徑(jing) |
1.0 |
1.8 |
mm |
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30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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2132132132131231312100:1 |
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精 度(dù) |
±（1.5+0.2FS） |
% |
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重複性 |
0.25 |
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±30 |
mV |
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輸(shū)出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
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響(xiǎng)應時間 |
mses |
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工(gong)作電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸(shū)出方式 |
線(xiàn)性，RS232/模拟電(dian)壓0.5~4.5Vdc |
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zui大流量(liang)壓損 |
350 |
300 |
pa |
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zui大工(gōng)作壓力 |
0.5 |
MPa |
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-10 ~ +55 |
oC |
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存(cun)儲溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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<95%RH（無(wú)結冰、無凝(ning)露） |
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可拆式(shi)軟管接頭(tou) |
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校準方式(shi) |
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重(zhong)量 |
15 |
g |
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