産(chǎn)品簡介(jiè)：
FS4001系列小(xiǎo)流量氣(qì)體質量(liang)流量傳(chuan)感器 是(shi)專門爲(wei)各類小(xiao)流量氣(qì)體的測(cè)量和過(guò)程控制(zhì)而設🍉計(ji)的。這一(yī)系列傳(chuán)感器均(jun)采用本(ben)公司自(zi)主研發(fā)的微🍓機(jī)電系統(tong)（MEMS）流量🈲傳(chuan)感芯片(piàn)來制作(zuo)，适用于(yú)各類清(qing)潔氣體(ti)。*的封✍️裝(zhuang)技術使(shi)之可用(yòng)于各類(lei)管徑，成(cheng)本低、易(yì)安裝、不(bú)需要溫(wen)度壓力(lì)補償，可(ke)替代容(rong)積式或(huò)📱壓差式(shì)的傳統(tǒng)流量傳(chuán)感器。
産(chan)品特點(diǎn)
FS4001系(xì)列小流(liú)量氣體(tǐ)質量流(liú)量傳感(gan)器
靈敏(min)度高,有(you)小的始(shi)動流量(liàng)傳感器(qi)芯片采(cǎi)用熱質(zhi)量🐆流量(liàng)🈚計量,無(wú)需溫度(dù)壓力補(bǔ)償,保證(zhèng)了傳感(gǎn)器的高(gāo)精度計(ji)量在單(dān)個芯片(pian)上實現(xiàn)了多傳(chuán)感器集(jí)成,使傳(chuan)感器的(de)量🌈程比(bǐ)大大提(ti)高傳感(gǎn)器的零(ling)點穩定(ding)度高全(quán)量程高(gao)穩定性(xing)全量程(chéng)高精确(que)度和優(yōu)良的重(zhong)複性低(di)功耗低(dī)壓損響(xiang)應時間(jian)快
|
性(xìng)能參數(shù) |
FS4001 |
|
|
|
1.0 |
1.8 |
|
|
|
大流(liu)量 |
|
500, 1000 |
SCCM |
|
|
≥100:1 |
|
|
|
精 度(du) |
±(1.5+0.2FS) |
||
|
0.25 |
|||
|
零(ling)點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mV |
|
|
±0.12 |
%/oC |
||
|
|
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
|
|
|
工作(zuo)電源 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
大流量(liàng)壓損 |
|||
|
|
|
||
|
工作(zuò)溫度 |
|
||
|
存(cun)儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
oC |
|
|
<95%RH（無結(jié)冰、無凝(ning)露） |
|
||
|
可(kě)拆式軟(ruan)管接頭(tou) |
|||
|
|
|
|
|
|
重(zhòng)量 |
15 |
g |
|
機械(xie)尺寸：
•