流量測量技術之(zhi) 微小流量 的測量     
半(ban)導體制造業、生物(wù)工程、精細化工等(děng)的興起，使流量測(cè)量向低端延伸，小(xiǎo)流量計流量的要(yào)求在上世紀 80 ∽ 90 年代凸顯起(qi)來。何謂小流量 ? 業界尚無*的定(ding)義和界限，小流量(liàng)因應用領域而異(yì)是一個模糊💛的概(gai)念。管道小流量測(ce)量體現于管徑小(xiǎo)和流速低兩個層(céng)💛次，就流程工業而(ér)言，習慣上 DN10 甚(shèn)至 DN15 以下管徑(jing)流量測量稱之小(xiao)流量測量，通常其(qi)流量值✂️液體爲 1L/min 或 0.06m3/h 以下，流(liú)量儀表滿度流量(liang)時的流速低于 0.1m/s 。
1 、測量方法(fa)
傳統小流量(liang)測量技術節流差(cha)壓 ( 層流 ) 法、浮子法和容積(jī)法等有了的改進(jin)，新測量技術如超(chao)聲法、熱法、科裏奧(ao)利法等也有成效(xiào)地應于液體和氣(qi)體小流量測量。
2 、特點
微小(xiao)流量與一般流量(liang)測量相比較，具有(yǒu)以下特點。
1) 雷(lei)諾數低
一般(ban)管道流動均爲紊(wěn)流流動，流量儀表(biǎo)也是針對紊流流(liú)♈動态設計的，而小(xiǎo)流量儀表因管徑(jing)小常處于層流流(liu)動 ( 例如管内(nei)徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層(céng)流 / 紊流過渡(dù)區流态流動，小流(liú)量測量受使用中(zhong)流體黏度變化影(ying)響頗大。
2) 要用(yòng)實際使用流體校(xiao)準
液體流量(liang)儀表一般用水校(xiào)準，氣體用空氣校(xiao)準。若知道實🈲際測(ce)量流體與校準流(liú)體間某些物性不(bú)同對示值有規律(lǜ)變化時，中大管徑(jìng)流量儀表常以适(shì)當系數修正。但有(yǒu)些小流量儀表受(shou)黏度等流體物💃性(xìng)影響大，須以實際(jì)使用流體校準。所(suǒ)幸流量小，用實際(jì)使用流🌈體校準難(nán)度不大，但在作有(yǒu)害性流體校準時(shí)應注意安全和環(huán)境污染。
3) 要求(qiú)測量時防止污染(rǎn)流體
若測量(liàng)潔淨氣體和純水(shuǐ)常不允許接觸流(liú)體的儀表零💛件材(cai)料析出離子，例如(rú)半導體制備中儀(yi)表不能用金屬和(he)玻🏃🏻‍♂️璃制成，隻能用(yòng)塑料。流體中也不(bú)允許混入活動件(jian)🔱的磨蝕塵粒。流量(liàng)儀表流通通道要(yao)盡可能簡單，不應(ying)有潴留 ( 指液(yè)體在體内不正常(chang)地聚集停留 ) 部位，防止潴留介(jiè)質變質。
4) 氣泡(pào)和塵埃附着的影(ying)響
因管徑小(xiao)黏性增加，液體中(zhōng)微細氣泡易在管(guǎn)系流動過程中積(ji)♈聚變大，使測量時(shi)指示不穩，度下降(jiàng)。流體中塵埃附着(zhe)測量元件也要影(yǐng)響測量值，例如浮(fú)子流量計的浮🛀子(zǐ)上沉積有肉眼覺(jiao)察🤩不出的附着🍉層(céng)也會影響示值。
5) 流量儀表品種(zhǒng)使用上受到一定(ding)限制
在衆多(duo)測量原理流量儀(yi)表中，因各種原因(yīn)小流量應💁用受到(dao)一些限制，當前能(néng)應用于小流量的(de)品種如表格所示(shi)